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靶材溅射镀膜利用率一般仅约60%,余为废靶,同时在靶材生产过程中还产生边角料、切屑等,皆成为制取再生铟的资源。由于ITO靶材是**主要的铟消费,现已占铟消费总量的约3/4以上,每年高达600吨以上(2004年数据),因此废靶材是**重要的铟再生资源,废靶材回收铟的数量和成本也是牵制铟交易和铟价的一个重要因素。目前:生产铟靶和再生铟数量**的国家是日本,2004年生产了再生铟230吨,占消费量的42.51%。 ITO靶材是由In2O3和SnO2组成的氧化物烧结体,要有效回收其废料中的铟,需铟与锡分离,可利用铟与锡性质的差异。可供选择的分离。
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